大塚电子 OTSUKA 分光特性测量装置 LCF series
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透過スペクトル測定、色測定をはじめ、濃度測定、膜厚測定、反射スペクトル測定などにより、カラーフィルタ製造工程中のあらゆる検査に対応可能な装置 カラーフィルタの光学特性やガラス基板上膜の薄膜解析など、さまざまな評価に利用可能 オートフォーカス機能や自動絵素位置合わせ機能により、高精度な測定が可能であり、レシピ登録による完全自動検査にも対応し可能
測定項目
カラーフィルタ評価 色測定（透過スペクトル測定）
色度（XYZ，xy，Lab，L*a*b*，u'v'，u*v*）
色差，ホワイトバランス 反射率測定 * 濃度（OD）測定 * 画素幅測定 * AF（オートフォーカス），自動絵素合わせ * 膜厚評価 膜厚測定 膜物性解析（n:屈折率，k：消衰係数） * オプション
測定対象
R, G, B, ITO, PI, PR, OC, BM 仕 様
型式 LCF series サンプルサイズ 50mm×50mm ～ * 検出器 分光光度計 ( MCPD検出器 )，PMT （オプション）
画像処理 CCDカメラおよびモニター
オートフォーカス・自動絵素合わせ機構 ステージおよび測定部架台 X-Y-Zステージ 自動および手動（電動方式） * 大型ガラス基板にも対応可能（3000mm×3000mm以上）