日本进口 TOFCO 东富科 流量计 FCV-C40 高分辨率化处理

2024-11-28 17:45:53 admin



药液、纯水用

从外部流量计接收当前流量信息,对设定的流量进行自动控制。最适合半导体清洗装置的药液、纯水流量管理。

FCV-C系列
FCV-C40
FCV-C60

FCV-C80


特点
比较设定流量值和来自外部流量信息进行反馈控制
采用高性能步进电机&高分辨率化处理
搭载串行通信功能(ModbusRTU方式,最大32连)
设定流量值的指示方法可选择(模拟信号输入或串行通信)
快速控制响应(C40型:约1秒,C60/C80型:约2秒)

高速阀门全开动作(C40型:约0.3秒,C60/C80型:约1秒)


规格
控制精度:±1%of RD※流量规格的10%以下:±0.1%of F.S。
再现性:±1%of RD※流量规格的10%以下:±0.1%of F.S。
稳定性:±2%of RD※流量规格的10%以下:±0.2%of F.S。
流量传感器部:无※流量控制及流量输出时需要带模拟输出功能的流量传感器。
流量传感器输入:4-20mA(标准)或1-5V
模拟输入输出流量:4mA(1V):0mL/min
20mA(5V):控制流量范围最大值
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