日本 ULVAC 爱发科 涡轮分子泵YTP系列YTP-B YTP-50MB/YTP-50SAB/YTP-50MB-DRY/YTP-50SAB-DRY 排气系统从常压到高真空
2024-07-22 14:00:00
admin
涡轮分子泵
YTP系列
YTP-B
YTP-50MB
YTP-50SAB
YTP-50MB-DRY
YTP-50SAB-DRY
YTP-300MB
YTP-300SAB
YTP-300MB-DRY
YTP-300SAB-DRY
YTP系列Ver.B是配备陶瓷球轴承式涡轮分子泵的高真空抽气装置。
可以从大气压抽真空至高真空。
产品阵容包括可使用 START/STOP 开关自动排气的 SA 型和可手动操作的 M 型。
辅助泵标配回转泵,也可选配干式涡旋泵。
特征
根据用途可提供各种系列。
有使用旋转泵作为辅助泵的标准规格和使用干式涡旋泵的干式规格。
优秀的断电保护
前级阀标配电磁阀,防止断电时倒流和故障。
可以检查粗加工状态。
标配皮拉尼真空计,可以检查粗加工抽真空时的压力。
可排气至UHV范围
通过安装可选的烘烤加热器并进行脱气处理,可排气至UHV范围。(*作为产品规格值)
目的
排气系统从常压到高真空
各种实验、研究设备的排气系统
高纯气体真空置换
超高真空设备粗抽系统
分析仪排气系统
规格
型号 | YTP- 50MB | YTP- 50SAB | YTP- 50MB-DRY | YTP- 50SAB-DRY | YTP- 300MB | YTP- 300SAB | YTP- 300MB-DRY | YTP- 300SAB-DRY | |
TMP进气 法兰 | ICF114、VG65、ISO63-K | ICF152、VG100、ISO100-K | |||||||
TMP 极限压力 *1 | 烘烤前 | 10 -6 Pa范围 | 10 -6 Pa范围 | ||||||
烘烤后 | 10 -8 Pa范围 | 10 -8 Pa范围 | |||||||
TMP 抽速 *2 | 氮气 | 70升/秒 | 280升/秒 | ||||||
氢2 | 49 升/秒 | 220升/秒 | |||||||
辅助泵 出口法兰 | G3/4 | NW16 | G1 | NW16 | |||||
辅助泵 抽速 | 50赫兹 | 50升/分钟 | 90升/分钟 | 200升/分钟 | 250升/分钟 | ||||
60赫兹 | 60升/分钟 | 100升/分钟 | 240升/分钟 | 300升/分钟 | |||||
TMP 背压/ 粗加工压力监控器 | 皮拉尼真空计(2.7×103~10-1Pa) | ||||||||
前阀 | 带自动排气机构的旋转泵电磁阀(L型电磁阀) | ||||||||
输入电压 | 单相AC100V(50/60Hz) | ||||||||
输入电缆长度 | 5m(带3P插座) | ||||||||
电源容量 | 1.2kVA | 0.9kVA | 1.7kVA | 1.6kVA | |||||
稳态 功耗(kVA) | 0.6kVA | 0.4kVA | 1.0kVA | ||||||
质量 | 55公斤 | 57公斤 | 86公斤 | 85公斤 |
*1:仅可对 ICF 法兰规格进行烘烤。
*2:排气速度为无防护网时的值。